Вакуумное напыление
Об оборудовании для вакуумного напыления Вакуум играет решающую роль во многих операциях нанесения покрытий, в которых металлы, пластмассы или стекло оседают в виде пара. Во многих случаях эти процессы не были бы возможны без вакуума. Средний или высокий вакуум применяется в камере для ее откачки в начале процесса, после чего извлекаются газы или выпариваются твердые материалы.
Все эти процессы проходят в вакуумной напылительной установке. Обычно вакуумная напылительная установка состоит из четырех частей:
1. Вакуумная камера - основная часть
Вакуумная камера изготовлена из коррозионностойкой нержавеющей стали. Каждая из ее частей соединяется с вакуумным насосом с помощью соединительных клапанов.
2. Вакуумные системы - вспомогательная система выпуска
Эта система является важной частью для оборудования вакуумной напыления; она включает в себя механические насосы + бустерные насосы (двухроторные вакуумные насосы) + паромасляные диффузионные насосы.
Механические насосы также называются форвакуумными насосами, такие как: плунжерные (золотниковые) вакуумные насосы, пластинчато-роторные вакуумные насосы и т.д.
Бустерные насосы также называются двухроторными вакуумными насосами Рутса. Эти насосы не могут использоваться отдельно, они должны быть использованы в качестве ускорителей в сочетании с форвакуумными насосами, таких как механические насосы.
Для высоковакуумных приложений мы предлагаем турбомолекулярные вакуумные насосы и паромасляные диффузионные вакуумные насосы, которые, в сочетании с форвакуумными насосами точно подходят для процесса нанесения покрытий.
Диффузионные паромасляные насосы имеют высокую скорость откачки, его рабочее давление от 10-2 Па до 10-5 Па и простое управление с длительным сроком службы.
Наше вакуумное оборудование может быть широко использовано для указанных ниже процессов:
- Покрытие вакуумным испарением
- Покрытие вакуумным напылением
- Физическое вакуумное осаждение (PVD)
- Химическое вакуумное осаждение (CVD)
- Вакуумное покрытие методом плазменного распыления
- Вакуумное покрытие металлом
Все эти процессы имеют общие требования: совершенно надежный средний или высокий вакуум в камере, что точно соответствует процессу покрытия. Такие процессы нанесения покрытия выполняются для изменения характеристик поверхности, таких как твердость или устойчивость к коррозии. Вакуумное напыление может также применяться для улучшения адгезионных и смачивающих способностей материала или для обеспечения гидрофобной или гидрофильной поверхности.
Наши вакуумные системы поставляются со сделанным на заказ комплектующими для всех типов процессов вакуумного нанесения покрытий.
