Сухая винтовая вакуумная система Рутса JZJLG150-3T

Винтовой вакуумный агрегат Рутса JZJLG150-3T представляет собой вакуумный всасывающий агрегат, состоящий из последовательно соединенных насосов Рутса ZJ150G и винтовых вакуумных насосов LG50G. Основные особенности процесса вакуумной вытяжки монокристаллического кремния:

Преимущество:

1. Блок в основном состоит из вакуумного насоса Рутса, винтового вакуумного насоса, глушителя и т. Д. Он относится к сухим вакуумным насосам, которые не имеют масляных и газовых загрязнений в контактной части системы и легко подвергаются централизованной обработке или переработке с помощью корпуса выхлопной системы.

2. Насосная производительность агрегата стабильна, а влияние температуры окружающей среды и температуры охлаждающей воды невелико.

3. Буферный резервуар для удаления пыли во входной трубе агрегата (опция) может эффективно фильтровать большое количество пыли в газе, уменьшать попадание пыли в полость вакуумного насоса и предотвращать поломки, вызванные пылью.

4. между вакуумным насосом Рутса и влажной частью винтового вакуумного насоса нет трения, детали вакуумного насоса не изнашиваются, срок службы насоса долгий, и он нечувствителен к мелким частицам пыли. , поэтому газ, содержащий небольшое количество мелких частиц пыли, может быть удален.

5. блок высокого вакуума, большая емкость в зоне высокого вакуума.

6. Компактная конструкция, небольшая площадь, небольшая вибрация, простота установки и использования, пользователь может подключать только впускные и выпускные трубы, охлаждающие каналы и контуры.

7. Вакуумный агрегат имеет вертикальную конструкцию и занимает небольшую площадь.

8. Насос Рутса ZJ150G приводится в действие преобразователем частоты, а система управления агрегата использует интеллектуальное управление с помощью ПЛК. Программа управления может быть настроена в соответствии с технологическими потребностями клиента, что может автоматически соответствовать требованиям различной скорости откачки и постоянного давления при разном выпуске воздуха в процессе клиента в разные периоды времени, чтобы лучше удовлетворять производственные потребности клиента.

Модель ── Значение ：

Винтовой вакуумный насос JZJLG150-3T Рутса

J ── От имени Вакуумного подразделения

ZJ ── Главный насос для обычного вакуумного насоса Рутса

LG ── Подкачивающий насос винтовой вакуумный.

150 ── Производительность главного насоса в вакуумной установке (насос Рутса ZJ150) (л / с)

3 ── Отношение основного насоса вакуумного насоса Рутса к скорости насоса резервного насоса винтового вакуумного насоса

Т ── Особый тип