contact@evpvacuum.com
+86 21 50878057 / +86 13162688673
ПН-ПТ 9:00-18:00
Обратный звонок

Меры предосторожности при применении полупроводникового вакуумного насоса

Технологический вакуум полупроводников в основном используется для процессов соединения, таких как испарение, напыление, плазмохимическое осаждение из паровой фазы, вакуумная сухая гравировка, вакуумная адсорбция, испытательное оборудование, вакуумная очистка и т. д. В процессе производства полупроводников легковоспламеняющиеся, взрывоопасные, токсичные вещества и легко образуются газы, что представляет угрозу безопасности производства и персонала. Таким образом, несколько рекомендаций для безопасности при применении полупроводниковых вакуумных насосов заключаются в следующем:


1. Регулярно очищайте вакуумный насос и другие аксессуары, фильтры и трубы, чтобы избежать избыточного давления.

При применении полупроводниковых вакуумных насосов, когда среда проходит через реакционную камеру и вакуумный насос в процессе экстракции среды, состав среды может быть чрезвычайно сложным. В случае механического насоса с масляным уплотнением эти газообразные вещества могут также вступать в реакцию с маслом насоса. Эти изменения предполагают образование частиц, конденсирующихся или вызывающих коррозию сред, которые могут заблокировать вакуумный насос или систему трубопроводов, повлиять на работу вакуумного насоса, вызвать повышение или избыточное давление и создать повышенный риск. Поэтому необходимо вовремя проводить уборку и при необходимости устанавливать фильтрующее оборудование.


2. Эффективно разбавить концентрацию вредных газов

Полупроводники склонны выделять вышеперечисленные легковоспламеняющиеся, взрывоопасные и токсичные вредные газы. Поэтому при применении полупроводниковых вакуумных насосов при извлечении этих сред необходимо предотвращать некоторые неконтролируемые реакции в процессе вакуумного насоса или вытяжки. Например, при контакте с воздухом или кислородом SiH4, PH3, AsH3, B2H6 и другие вещества могут вызвать возгорание или даже взрыв. Когда соотношение смешивания водорода с воздухом достигает определенного уровня и температуры, также происходит горение. Все это зависит от количества вещества и его связи с давлением и температурой окружающей среды. Следовательно, когда полупроводниковый вакуумный насос извлекает эти среды перед сжатием, требуется инертный газ, такой как азот, для разбавления этих газов до безопасного уровня в текущих условиях.


3. Обратите внимание на концентрацию кислорода

Если концентрация кислорода в воздухе слишком высока, существует риск воспламенения и взрыва. Поэтому в некоторых случаях следует обращать внимание на концентрацию кислорода, а кислород следует разбавлять инертным газом, чтобы предотвратить чрезмерную концентрацию. Предположим, что для механического насоса с сальниковым уплотнением может потребоваться использование инертного масла для вакуумных насосов, совместимого с кислородом, и своевременно заменить масляный фильтр и нефтепродукты.


4. Предотвратить чрезмерную температуру

При применении полупроводников в вакуумных насосах возникает много вредных газов. Однако, будь то сухой вакуумный насос или механический насос с масляным уплотнением, если температура в полости насоса слишком высока, легковоспламеняющиеся, взрывоопасные и токсичные газы легко опасны при высоких температурах.


Редактор: Фу Яньцзюнь / Shanghai EVP Vacuum Technology Co., Ltd.