Получите метод сверхвысокого вакуума с помощью масляного диффузионного насоса

Масляный диффузионный насос часто используется в высоковакуумной насосной системе, принимая некоторые технические меры, вы можете получить сверхвысокий вакуум. Данный метод заключается в следующем:

1. выберите диффузионное вакуумное масло с высокой производительностью

Насосное масло оказывает большое влияние на предельное давление масляного диффузионного насоса. Например, при использовании 3-х диффузионных вакуумных масел, предельное давление может достигать 10 ^ -5 Па; вместо 275 при использовании силиконового масла предельное давление может достигать 10 ^ -7 Па, предельное давление увеличивается на 2 значения. Во-вторых, частичное давление откаченного газа также меняется с насосным маслом, что влияет на состав насосного масла. Поэтому чтобы получить сверхвысокий вакуум, Вы должны выбрать хорошее масло для диффузионного насоса.

Требования к насосному диффузионному маслу: высокая термоокислительная стойкость, низкое давление пара при комнатной температуре, низкий уровень испаряемости и хорошие диэлектрические свойствами, не токсичность, коррозионно-стойкими и дешевыми.

EVP диффузионное масло:

2. Используйте разумную технологию выпекания

Масляный диффузионный насос для получения сверхвысокой вакуумной системы должен иметь высокую температуру выпекания, целью которого является снизить уровень газа в материале. Материалы в окружающей среде могут поглощать и поглощать часть газа, когда в вакууме они производят десорбцию, газ медленно высвобождается, чтобы ускорить десорбцию, выпекание.

Для разных материалов выбор температуры выпекание также будет отличаться. Принцип заключается в том, что чем выше температура, тем ускоряется газ. Чтобы выбрать правильную температуру выпекания, учитывается, выдерживает ли вещество высокие температуры. Обычно материалы из металла, таких как нержавеющая сталь, температура выпекания составляет 250 ℃ -450 ° C; температура неметаллических материалов составляет 80 ℃ -100 ℃. Время выпечки 4 ч-8 ч и выше. Очень высокое время выпекания в вакууме более чем 24 часа. Типичная система масляного диффузионного насоса (после выпечки), а также компоненты остаточного газа для сверхвысокой вакуумной системы для металлического масла.

3. Усиленная холодная ловушка для предотвращения обратного течения и перемещения масла

Явление, при котором насосное масло течет через вход насоса в вытянутый сосуд, называется обратным течением. Движение молекул масла вдоль стенки в контейнер называется обратным перемещением. Как обратное течение, так и антиперемещение влияют на конечное давление вакуумной системы. Холодная ловушка широко используется в сверхвысоковольтной вакуумной системе, которая устанавливается между впускным отверстием насоса и вакуумной камерой, а также не только может эффективно захватывать диффузионным насосом обратное течение пара и частично расщеплять лизат, но и извлекать пар из вакуумной камеры.

Холодная ловушка EVP с использованием типа затвора (тип A1, A2) и типа конической опоры (B1, B2) показана ниже:

4. снизить антипролиферацию откачиваемого газа

Антидиффузия вакуумированного газа является одним из факторов, ограничивающих диффузионный насос для получения сверхвысокого вакуума. Газовая антипролиферация и молекулярное качество, тем меньше качество, тем легче антипролиферация. Диффузионный насос водорода легко реверсирует диффузию для предотвращения встречной диффузии водорода. Для этого существует два способа: во-первых, уменьшить давление на выходе из диффузионного насоса, используя два диффузионных насоса последовательно для достижения; вторая - установка впускной трубы диффузионного насоса. Жидкие азот-охлажденные титановые сублимальные ловушки для улавливания встречного диффузионного водорода.

EVP предлагает большое количество диффузионных насосов, изображения следующие: